氧化镓纳米棒及其制备方法和光电探测器件
公开(公告)号：CN112111711B
申请号：CN202010868714.X
专利详情
公开(公告)日：2022-10-04
申请日：2020-08-25
授权日：2022-10-04
专利权人：深圳大学
IPC分类号：C23C14/28 | C23C14/02 | C23C14/08 | H01L31/032 | H01L31/0352 | C01G15/00 | B82Y15/00 | B82Y30/00 | B82Y40/00
专利摘要